路透社：SK海力士在华引入EUV光刻机遭美国阻挠

[文/ 吕栋]
在美国围堵中国半导体产业发展的过程中，设备扮演着关键角色。现在，为防止最先进的半导体制造设备进入中国，美国甚至连盟友的企业都不开绿灯。
当地时间11月18日，路透社援引知情人士的话报道称，韩国企业SK海力士无锡工厂的升级改造计划面临危险，因为美国官员不允许阿斯麦EUV（极紫外光刻机）进入中国大陆，SK海力士原本希望通过该设备提高存储芯片的生产效率。
就此事联系了阿斯麦，对方表示：没有进一步的信息可以提供，该公司也不评论单个客户的具体事务；SK海力士方面没有回应的置评要求。
就在同一天，阿斯麦首席财务官罗杰·达森（Roger Dassen）表示，该公司预计其产品在中国的需求依然强劲，2021年销售额将达到约20亿欧元（约合人民币144亿元）。他同时称，如果美国进一步限制该公司对华出售光刻机，这些需求可能会转移到其他地区。
路透社报道截图
据路透社援引的三位知情人士称，SK海力士计划在无锡升级一个存储芯片量产设施，该过程需要用到EUV光刻机。美国过去曾表示反对，理由是将这类先进工具运至中国大陆可能被用于强化中国的军事力量。
但无锡这家工厂对全球电子行业至关重要，因为其生产SK海力士约半数的动态随机存储器芯片（DRAM），占全球总量的15%。任何重大变化都可能对全球内存市场产生影响。市场分析公司IDC称，仅2021年，全球内存市场的需求就将增长19%。
2021年三季度，SK海力士占据全球DRAM市场27.2%的市场份额 数据来源：TrendForce集邦咨询
一位白宫高级官员拒绝评论美方官员是否会允许SK海力士将EUV光刻机带到中国。
但这位官员向路透社声称，拜登政府仍然专注于防止中国利用美国和盟国的技术来发展最先进的半导体制造，这将会助力中国军事现代化。
今年7月，SK海力士宣布，已开始在韩国使用EUV光刻机量产基于1a纳米级工艺的8G LPDDR4移动DRAM芯片，与第三代1znm内存芯片相比，1a技术在相同的晶圆面积下，生产的芯片数量可以增加25%。
一位了解SK海力士在中国运营情况的消息人士透露，随着两到三年后新型芯片在SK海力士的生产中占据更大份额，该公司将需要EUV光刻机来控制其成本并加速生产。
路透社报道称，SK海力士内部的担忧以前没有被披露过。如果这种情况在未来几年内得不到解决，SK海力士可能会在与头号内存芯片制造商三星电子和美国美光等对手的竞争中处于不利地位。
目前，韩国三星电子也在西安运营着半导体存储芯片工厂，但由于产品是NAND型闪存，目前尚不需要EUV设备。这是因为在NAND领域，业内企业围绕使存储元件纵向叠加的“三维技术”展开竞争，即使没有将半导体电路线宽缩小至极限的“微细化”所需的EUV光刻机，也能够量产尖端产品。
阿斯麦NXE3400型EUV光刻机 图片来源：ASML官网
据两位知情人士称，EUV光刻机的问题在SK海力士内部引起了足够的关注，首席执行官李锡熙（Lee Seok-hee）在7月访美时向美国官员提出了这个问题。
SK海力士方面不予置评。但该公司补充称，其根据各种市场环境灵活运作，正在尽最大努力应对市场和客户的需求，没有问题。
路透社援引的阿斯麦一位发言人称，该公司遵守所有的出口管制法律，并将其视为政府确保国家安全的“有效工具”。但该公司同时补充称，过度使用出口管制“可能会影响到满足半导体需求增长所需的产能”。
这位发言人在一份声明中表示，广泛使用出口管制可能会加剧半导体供应链的问题，由于对汽车等其他行业的溢出效应，这些问题已经成为世界各国政府和政策制定者的主要关切。
分析人士称，美国官员可能会认为SK海力士将EUV光刻机引入中国大陆的尝试，与中国大陆公司此前的类似努力没有任何区别。
美国半导体产业调查公司VLSIresearch的首席执行官丹·赫奇索（Dan Hutcheson）声称，不管谁把EUV光刻机引入中国大陆，都会让中国大陆具备这种生产能力。“一旦它到了那里，你不知道它之后会去哪里”。
在路透社曝出上述消息同日，阿斯麦首席财务官罗杰·达森（Roger Dassen）表示，该公司预计其产品在中国大陆的需求依然强劲，2021年销售额将达到约20亿欧元，收入主要来自逻辑芯片和内存芯片客户。
“至于明年，我预期数字不会大幅增长，但预计这样的数字水平会维持下去，所以明年的销售也是相当强劲的。”罗杰·达森表示，该公司认为2022年在中国大陆的销售额将达到类似2021年的水平。
2021年三季度财报显示，中国台湾超越韩国成为阿斯麦最大市场，占比为46%，环比增长10个百分点；韩国为阿斯麦第二大市场，占比为33%，环比下滑6个百分点；中国大陆和美国并列第三大市场，占比均为10%，其中中国大陆的占比环比下滑7个百分点，美国的占比环比提升4个百分点；日本为第四大市场，占比为1%。
阿斯麦2021年三季度财报截图
在提到美国政策界关于是否应进一步限制对华光刻机销售的讨论时，达森说这不会立即影响阿斯麦。“如果不管出于什么原因，中国大陆方面出现了什么情况，比如说更严格的监管。。。很可能这些需求会转移到其他地区。”他说。
在全球缺芯的背景下，阿斯麦确实没有近忧，但不意味着没有远虑。
一方面是中国大陆的自主研发。今年4月，阿斯麦CEO温彼得坦言，出口关注只会加快中国自主研发的速度。“如果你采取出口管制措施将中国市场拒之门外，这将迫使他们争取技术主权（tech sovereignty），就其真正的技术主权而言……在15年的时间里，他们自己将能够做出所有的这些东西，而且他们的市场（针对欧洲供应商的市场）将彻底消失。”
另一方面，阿斯麦也担心其最大的两个出货地——中国台湾和韩国的地缘政治危机。几乎在每年的财报中，该公司都会有以下相关风险提示：
我们的一些制造工厂和客户都位于中国台湾地区。台湾地区客户占我们2020年净销售额的33.8%，2019年净销售额的45.3%。台海局势的变化、台湾当局的政策，以及影响台湾政治、经济或社会环境的其他因素，都可能对我们的业务、财务状况和经营结果产生重大不利影响。
此外，我们的一些设施和客户位于韩国。韩国客户占我们2020年净销售额的29.7%，占我们2019年净销售额的18.6%。自第二次世界大战后朝鲜半岛分裂以来，韩国与朝鲜的关系一直很紧张。这些国家之间的关系恶化或朝鲜半岛爆发战争，可能对我们的商业、财务状况或业务结果产生重大不利影响。